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Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography


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Produktinformationen
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Artikel-Nr.:
     858A-9783030094553
Hersteller:
     Springer Verlag
Herst.-Nr.:
     9783030094553
EAN/GTIN:
     9783030094553
Suchbegriffe:
Chemische Technik
Chemische Technik - englischsprachi...
allgemeine Technikbücher
allgemeine Technikbücher - englisch...
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
Weitere Informationen:
Author:
Seongbo Shim; Youngsoo Shin
Verlag:
Springer International Publishing
Sprache:
eng
Weitere Suchbegriffe: allgemeine technikbücher - englischsprachig, VLSI CAD for DSA, Physical Design for DSA, DSA-Friendly VLSI Design, DSA.Aware Placement, DSA-Aware Routing, DSA-Aware Mask Optimization, DSA-Aware OPC, DSA Verification, Multi-Patterning with DSA, Inverse DSA, Nanolithography
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