Raster-Elektronenmikroskopie

1. Einleitung.- 1.1. Prinzipielle Wirkungsweise und Betriebsarten eines Raster-Elektronen-mikroskopes (SEM).- 1.2. Vergleich des Raster-Elektronenmikroskopes mit dem Lichtmikroskop und Transmissions-Elektronenmikroskop.- 1.3. Vergleich des Raster-Elektronenmikroskopes mit anderen Elektronen-Strahlgeräten.- Literatur zu § 1.- Monographien, Tagungsbände und Bibliographien.- 2. Wechselwirkung Elektron-Materie.- 2.1. Einleitung.- 2.2. Elektronenstreuung am Einzelatom.- 2.3. Streuung in einer durchstrahlbaren Schicht.- 2.4. Elektronendiffusion in kompaktem Material.- 2.5. Rückstreuung und Sekundärelektronen-Emission.- 2.6. Ausbreitung der Elektronen in Kristallen.- Literatur zu § 2.- 3. Elektronenoptik, Aufbau und Funktion des Raster-Elektronenmikroskopes.- 3.1. Elektronenoptische Grundlagen.- 3.2. Abrasterung und Fokussierung.- 3.3. Objektveränderungen durch Elektronenbeschuß.- 3.4. Objektkammer und Detektoren.- 3.5. Elektronik und Bildaufzeichnung.- 3.6. Spezielle Techniken der Raster-Elektronenmikroskopie.- Literatur zu § 3.- 4. Abbildung mit Sekundär-, Rückstreuelektronen und Probenströmen.- 4.1. Oberflächentopographie.- 4.2. Materialkontrast.- 4.3. Auflösungsgrenze und Informationstiefe.- 4.4. Channelling-Diagramme und Kristallorientierungskontrast.- 4.5. Abbildung und Messung elektrischer Potentiale.- 4.6. Abbildung und Messung magnetischer Objektfelder.- 4.7. Abbildung mit internen Probenströmen und elektromotorischen Kräften.- Literatur zu §4.- 5. Raster-Transmissions-Elektronenmikroskopie.- 5.1. Spezielle Eigenschaften der Rastertransmission.- 5.2. Realisierung des Transmissionsbetriebes.- 5.3. Anwendung der Raster-Transmissions-Elektronenmikroskopie.- Literatur zu § 5.- 6. Elementanalyse und Abbildung mit emittierten Quanten und Augerelektronen.-6.1. Grundlagen der Röntgenemission.- 6.2. Wellenlängen- und energiedispersive Röntgenanalyse.- 6.3. Grundlagen der Röntgenmikroanalyse.- 6.4. Ausnutzung der Beugung und Absorption der Röntgenstrahlung.- 6.5. Andere Verfahren der Elementanalyse.- 6.6. Kathodolumineszenz.- Literatur zu § 6.- 7. Auswertemethoden rasterelektronenmikroskopischer Aufnahmen.- 7.1. Ermittlung der dreidimensionalen Struktur.- 7.2. Stereometrie.- 7.3. Optische Transformationen.- Literatur zu § 7.- 8. Präparation.- 8.1. Einleitung.- 8.2. Präparatmontage und Oberflächenvorbereitung.- 8.3. Stabilisierung der Objekte.- 8.4. Kleine Teilchen und durchstrahlbare Präparate.- 8.5. Abdruckverfahren.- 8.6. Vermeidung von Aufladungen.- 8.7. Erweiterung der Bildinformation.- Literatur zu § 8.